SEMICONDUCTOR
半导体
机台真空磁悬浮电机
磁悬浮电机及其控制器
半导体行业中RTP、RTA工艺中涉及到的快速退火设备，其中利用磁悬浮转台对晶圆进行稳定悬浮和旋转，实现相应的工艺要求。
磁悬浮电机控制器在正常运行时可控制电机平稳运行，转速波动在工作范围内可达到要求精度；具备转子运动状态监控功能，在设备产生故障时，能够及时报警并生成异常日志，以便后续故障排查；具备定子温度监控及过温保护功能；具备断电保护、急停功能，可在断电、失载、过载、偏心、跳动超标等情况下提供设备保护等。
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